廈門太星機(jī)電服務(wù)維修-iGX100MTI半導(dǎo)體真空泵維修

廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵，它需要機(jī)械泵作為前級泵。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

1、油擴(kuò)散泵的返流。

2、氣體分子的反擴(kuò)散。

3、擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。

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（1）目前國內(nèi)生擴(kuò)散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對提和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進(jìn)工作，使用戶配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10-1Pa時(shí)的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護(hù)裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護(hù)。可自動切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時(shí)注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時(shí)更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機(jī)控制運(yùn)行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進(jìn)一步降低返油率，擴(kuò)大油擴(kuò)散泵的用途。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運(yùn)動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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利用水冷擋油帽，使泵的抽速稍有損失外，可使返油率降低。對于許多應(yīng)用場合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門和彎管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學(xué)密閉的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速約下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù)，到達(dá)真空室的這種返流量取決于設(shè)置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度，常用液氮（ 77K）冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學(xué)密閉，而且還必須使進(jìn)入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑（如沸石）的障板，為避免油分子直線飛行，要設(shè)置交錯(cuò)的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司（ 28.35g）沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積，在小型超高真空系統(tǒng)中，使用分子吸附劑障板是有效的。因?yàn)樵诘蛪合拢趲讉€(gè)星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳?xì)浠衔锖推渌鼩怏w，并不需要液氮。